Đèn diệt khuẩn cathode lạnh được thiết kế với cấu trúc nhỏ, tuổi thọ cao và công suất đèn thấp, phát ra bước sóng 254nm (không chứa ozon), hoặc 254nm và 185nm (tạo ozon) để tiêu diệt vi sinh vật, chỉ hoạt động trong vài phút nên được sử dụng rộng rãi trong các máy tiệt trùng. dùng cho bàn chải đánh răng, cọ trang điểm, máy diệt ve, thiết bị khử trùng xe cộ, máy hút bụi, v.v.. Có hai loại được sử dụng phổ biến là đèn diệt khuẩn tuyến tính (GCL) và đèn diệt khuẩn hình chữ U (GCU).